Auto306

產(chǎn)品概述
產(chǎn)品詳細(xì)
產(chǎn)品相關(guān)

產(chǎn)品概述

Auto306真空鍍膜系統(tǒng)能選配多種真空系統(tǒng)、真空腔室、蒸發(fā)鍍膜附件，可滿足研發(fā)實(shí)驗(yàn)室的各種需求。用戶可選擇單個(gè)熱阻源，或多個(gè)蒸鍍源，使得在不破壞真空環(huán)境的情況下進(jìn)行多層膜的沉積。一系列的樣品夾具、遮擋板、基板加熱器、膜厚監(jiān)測和控制可選擇裝配在Auto306上，以滿足不同實(shí)驗(yàn)應(yīng)用。

產(chǎn)品詳細(xì)

品牌概述

HHV Ltd 成立于1960年,隸屬于印度班加羅爾HHV Pvt., 是一家歷史*悠久的薄膜和真空技術(shù)公司. 該公司擁有眾多研究所,大學(xué)院校及工業(yè)生產(chǎn)客戶。近年來,HHV Pvt成為Edwards的制造商,生產(chǎn)如Auto306, Auto500 和TF600 等現(xiàn)代薄膜沉積系統(tǒng)。.

應(yīng)用領(lǐng)域

Auto306用于研究與開發(fā)

Auto能選配多種真空系統(tǒng)、真空腔室、蒸發(fā)鍍膜附件，可滿足研發(fā)實(shí)驗(yàn)室的各種需求。用戶可選擇單個(gè)熱阻源，或多個(gè)蒸鍍源，使得在不破壞真空環(huán)境的情況下進(jìn)行多層膜的沉積。一系列的樣品夾具、遮擋板、基板加熱器、膜厚監(jiān)測和控制可選擇裝配在Auto306上，以滿足不同實(shí)驗(yàn)應(yīng)用。

模塊化的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得用戶可在后期增加額外的工藝附件以強(qiáng)化Auto306的功能。

Auto306應(yīng)用于電子顯微鏡

Auto306可選用一系列的工藝腔室、工藝附件、真空系統(tǒng)，為電子顯微鏡用戶提供相關(guān)的樣品制備技術(shù)滿足*先進(jìn)的透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡的需要。

產(chǎn)品特點(diǎn)

Auto306可選擇配置鐘罩式玻璃腔室、圓柱形玻璃腔室，也可以配置通用的FL400前開門式不銹鋼箱式腔室。FL400腔室具有額外的高度與寬度，適用于安裝較多的工藝附件。
客戶可選擇的模塊化工藝附件，包括熱阻蒸發(fā)源及其控制電源、3kW EB3電子束蒸發(fā)源、遮擋板、基片夾具以及膜厚監(jiān)控儀等。
真空系統(tǒng)由觸屏PLC控制和監(jiān)控，易于操作；高真空泵選擇包括擴(kuò)散泵、渦輪分子泵、冷凝泵，并使用油封或干式泵作為支持泵。集成的具有備用電池的高真空閥門可在意外情況時(shí)保護(hù)泵和樣品。
特點(diǎn)和優(yōu)勢
觸屏PLC自動控制真空系統(tǒng)
多種可選薄膜沉積源和電源
多種可選樣品夾具
多種可選真空腔室
智能高真空閥門保護(hù)泵及樣品
緊湊型設(shè)計(jì)，*小化空間占用
無需壓縮空氣
完整的**使用互鎖保護(hù)

技術(shù)參數(shù)

極限真空

600 l/s 擴(kuò)散泵：2×10E-7 mbar

500 l/s 渦輪泵：2×10E-7 mbar

255 l/s 渦輪泵：5×10E-7 mbar

抽真空時(shí)間

大氣壓到1×10E-5 mbar：4分鐘

大氣壓到1×10E-6 mbar：25分鐘

水冷機(jī)： 75l/h 15-20℃

液氮容積：1.4L

Auto306真空鍍膜系統(tǒng)中國代理創(chuàng)世杰科技有限公司

網(wǎng)址: http://www.micropowergroup.com