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產(chǎn)品名稱:

金剛石MPCVD系統(tǒng)

產(chǎn)品概述

微波等離子金剛石MPCVD系統(tǒng)具有高度可重復(fù)的真空完整性設(shè)計,能夠在接近大氣壓范圍內(nèi)運(yùn)行,用于高沉積速率的單晶化學(xué)氣相沉積工藝。它還可以合成高純度的高均勻性和大面積的單晶和多晶。


產(chǎn)品詳細(xì)
微波和腔體系統(tǒng)
1.下入式微波饋入系統(tǒng)
2. 鋁制碟形腔設(shè)計
3.*大功率10kW
4.鉬生長臺直徑80mm,10x10晶種可以放24-28片
 測溫以及控制系統(tǒng)
1. 雙色紅外測溫儀
2. 電機(jī)控制可升降生長臺
3. PLC控制系統(tǒng)和電腦終端控制軟件

4. 全自動操作軟件

真空以及氣路系統(tǒng)
1. 4路流量計
1.1氫氣:1000sccm
1.2 甲烷200sccm
1.3輔助氣體流量計1:20sccm
1.4輔助氣體流量計2:10sccm
2. 2路流量計預(yù)留
3. 工作壓力:15-300Torr

4.真空漏率:<1x10-10Pam3/sec

連續(xù)工作時間:可達(dá)700小時

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